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溅射靶材应用及发展趋势

www.91jinshu.com   2019-09-19  来源:四丰电子  编辑部
摘要 溅射技术作为薄膜材料制备的主流工艺,其应用域广泛,如集成电路、平板显示器、太阳能电池、信息存储、工具改性、光学镀膜、电子器件、高档装饰用品等行业。高纯溅射靶材则主要用于对材料纯度、稳定性要求更高的域,如集成电路、平板显示器、太阳能电池、记录媒体、智能
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溅射技术作为薄膜材料制备的主流工艺,其应用域广泛,如集成电路、平板显示器、太阳能电池、信息存储、工具改性、光学镀膜、电子器件、高档装饰用品等行业。高纯溅射靶材则主要用于对材料纯度、稳定性要求更高的域,如集成电路、平板显示器、太阳能电池、记录媒体、智能玻璃等行业。

20 世纪90 年代以来,随着消费电子等终应用市场的飞速发展,高纯溅射靶材的市场规模日益扩大,呈现高速增长的势头。据统计,2015年世界高纯溅射靶材市场的年销售额约94.8 亿美元。据预测,未来5 年,世界溅射靶材的市场规模将超过160 亿美元,高纯溅射靶材市场规模年复合增长率可达到13%。

目前高纯溅射靶材产品主要应用于半导体产业、平板显示器产业以及太阳能电池产业,这些域的市场容量及发展趋势如下:

(1)半导体产业

高纯溅射靶材是伴随着半导体工业的发展而兴起的,集成电路产业成为目前高纯溅射靶材的主要应用域之。随着信息技术的飞速发展,要求集成电路的集成度越来越高,电路中单元器件尺寸不断缩小。每个单元器件内部由衬底、缘层、介质层、导体层及保护层等组成,其中,介质层、导体层甚至保护层都要用到溅射镀膜工艺,因此溅射靶材是制备集成电路的核心材料之。集成电路域的镀膜用靶材主要包括靶、靶、靶、钽靶、钛靶等,要求靶材纯度很高,般在5N(99.999%)以上。

受困于2008年爆发的金融危机,球半导体市场2009年陷入面衰退中,2009年,球半导体销售额仅为2,263.1亿美元,同比下降8.90%。此后,球半导体市场迅速反弹,2010年球半导体市场总销售额约为2,983.2亿美元,较上年同期上涨31.82%。2011-2014年,球半导体市场保持平稳增长,年均复合增长率为3.88%,2014年销售额达到3,358.0亿美元。2015年球半导体行业市场规模与2014年基本持平。根据世界半导体贸易统计组织(WSTS)预测,2016年和2017年球半导体行业市场规模将继续保持增长,增长率分别为0.3%和3.1%。总体来看,近年来球半导体市场仍然处于整体平稳上升阶段。

随着智能手机、平板电脑、汽车电子等终消费域对半导体需求的持续增长,尤其是消费电子产品与互联网、移动互联网的紧密结合,导致手机、平板电脑、智能电视等网络接入终产品的应用面持续扩大,从而进步提升半导体市场容量,预计球半导体市场在未来将保持持续增长的态势。

(2)平板显示产业(含触摸屏产业)

平板显示器主要包括液晶显示器(LCD)、等离子显示器(PDP)、场致发光显示器(EL)、场发射显示器(FED)等。其中,市场应用以液晶显示器为主。近年来,液晶显示器逐渐取代阴射线管显示器成为球主流的显示技术,在平面显示市场中得到了广泛的应用,主要应用域包括高清晰电视、笔记本电脑、台式电脑显示器等电子产品。平板显示器多由金属电、透明导电、缘层、发光层组成,为了保证大面积膜层的均匀性,提高生产率和降低成本,溅射技术越来越多地被用来制备这些膜层。平面显示镀膜用靶材主要品种有:铬靶、钼靶、铝靶、铝合金靶、铜靶、铜合金靶和掺氧化(ITO)靶材等。

中大陆从上世纪80年代开始进入液晶显示域,并紧密跟随液晶显示技术的发展。在政府政策导向和产业扶植下,我大陆液晶显示产业快速发展,目前已经成为球主要液晶面板生产大,并相继形成了以京东方、深天马、华星光电等为代表的市场影响力较大的液晶面板本土品。而传统的液晶面板生产强韩、日本出于降低制造成本等因素的考虑,近年来加大在我大陆投资设厂的力度,通过产业转移的方式提升球市场竞争力。因此,近年来内的平板显示产业规模迅速增长,继日本、韩以及台湾地区后,成为平板显示行业发展速度快的地区。

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