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抛光材料

细看我国集成电路发展状况(三)

五、抛光材料和靶材发展情况1、抛光材料CMP抛光材料是集成电路制造中的关键耗材,主要包括抛光液、抛光垫和修整盘等,其中抛光垫与抛光液占80%以上。随着集成电路工艺技术...【详情】

抛光材料  靶材  引线框架  集成电路   2019

 

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