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芯上微装首台350nm步进光刻机(AST6200)正式完成出厂调试与验收

放大字体  缩小字体 91金属网    编辑部  2025-11-26

91金属网讯,近日据上海芯上微装科技股份有限公司(AMIES)消息,该公司自主研发的首台350nm步进光刻机(AST6200)正式完成出厂调试与验收,启程发往客户现场,标志着我国在高端半导体光刻设备领域再次实现关键突破。

 
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