江丰电子：16年坚守 造就尖端靶材“破壁英雄”

来源：余姚市人民政府网站  编辑部

项目介绍：

宁波江丰电子材料股份有限公司“超高纯铝钛铜钽金属溅射靶材制备技术及应用”项目荣获国家技术发明奖二等奖。

迈进宁波江丰电子材料股份有限公司的大门，首先进入视野的，是一面镶嵌着硕大金属圆盘的屏风。

这块造型独特的金属圆盘，设计思路来源于一种广泛应用于半导体芯片制造的关键耗材——超高纯金属溅射靶材。2005年创立企业至今，江丰电子的创业团队将全部心血倾注到这项尖端技术的研发和市场应用，从创业初期的连年亏损，到逐步做大并敲钟上市，再到如今获得重量级奖项，16年苦心孤诣“面壁”攻关，最终造就了充满辉煌与荣耀的“破壁英雄”。近日，由江丰电子牵头的“超高纯铝钛铜钽金属溅射靶材制备技术及应用”项目荣获国家技术发明奖二等奖，相关产品不仅满足了国内市场需求，还能大量出口海外，芯片制造用溅射靶材市场份额居全球第二、全国第一。

超高精度的“打靶竞赛”

密闭腔室中，氩离子犹如一颗颗炮弹砸向“标靶”，将靶面的金属原子轰离。在电场影响下，这些金属原子“溅射”并沉积到“标靶”的另一面，慢慢形成一层金属膜，随后根据客户需求应用于芯片制造——这就是溅射靶材的使用过程。

在江丰电子制造中心技术厂长袁海军看来，这一使用过程很像射击打靶。“只是这场打靶竞赛的精细程度，几乎达到了工业领域的最高水准。”他说。

譬如，为了让金属膜更平整、更均匀，江丰电子采购定制化国内大型高端加工设备，“像揉面一样揉金属”，精细调控金属晶粒生长方向，最大限度降低镀膜时的误差，减少后续处理工序的成本和时间。

此外，江丰电子还攻克了超高纯金属溅射靶材精密机加工和异种金属大面积、高强度、高结合率焊接等技术，解决了高纯材料加工时易变形、易划伤，焊接工件材料之间界面氧化、材料应力变形等难题。

据了解，一块规格较大的超高纯金属溅射靶材可以在下游制造商的工厂里使用近一个月，为数百万乃至上千万颗芯片提供材料，其价格约等于一辆中档轿车。“正因为它的‘身价’如此之高，与芯片制造的关系如此紧密，我们必须全力把控工艺精度与产品品质，确保企业的市场竞争力和话语权。”袁海军说。

如今，江丰电子陆续攻克靶材制备的多个技术难题，建成完全基于国产化装备的世界一流溅射靶材生产基地，年产量达10万枚，已在国内外芯片制造厂商实现批量应用。这场反复琢磨、深入研究10余年的“打靶竞赛”，让江丰电子真正站在了行业最前沿。

追逐“世界第一”发展梦

技术领域的接连突破，给予江丰电子持续壮大实力、进一步攀登科技高峰的充足信心。

今年前三季度，企业营业收入约11.23亿元，较上年同期增长32.93%。在新冠肺炎疫情和“缺芯潮”双重影响之下，企业发展依旧保持良好态势。“江丰电子所处的行业技术迭代快速、市场竞争激烈，但我们始终瞄准国家重大需求、聚焦全球最顶尖技术，希望能真正成为让国人自豪的民族企业、成为当之无愧的世界第一。”企业创始人、董事长兼首席技术官姚力军如此期盼。

冲刺“世界第一”的底气，源于对科技研发孜孜不倦的投入。

今年前三季度，企业投入研发费用7000余万元，占营业收入的6.4%，同比增长43.74%。借力重庆大学、哈尔滨工业大学、浙江大学、宁波材料所等国内外高校和研究机构，江丰电子成为专业人才的重要实践基地，目前已集聚100多位高层次研发人员。

敢花钱、能用人，换得了创新创造的丰硕成果。截至今年9月底，江丰电子获得国内有效授权专利416项，制定各级各类行业标准20余项。企业的荣誉墙上，“半导体材料十强企业”“国家单项冠军示范企业”和各类科学奖项的牌匾满满当当、闪耀夺目。

江丰电子所在的这片土地，是单项冠军企业数量最多的城市，有着培育“世界第一”的肥沃土壤。在芯片制造用溅射靶材领域站稳脚跟之后，江丰电子正瞄准超高纯金属原材料制备、半导体精密零部件制造等更多尚存空白的上下游产业，朝着梦想中的“王冠”一路飞驰。