核心技术突破！国产200kV透射电子显微镜进入小批量试产_半导体_产业

核心技术突破！国产200kV透射电子显微镜进入小批量试产

来源：中国电子报、电子信息产业网作者：编辑部 2023-12-28

导读

中国近年来向着科技自立自强的方向迈出了坚定的步伐，核心技术不断突破，高端仪器设备持续涌现。近日消息，由苏州博众仪器科技有限公司（简称博众仪器）自主研发的200kV透

来源：中国电子报、电子信息产业网编辑部

中国近年来向着科技自立自强的方向迈出了坚定的步伐，核心技术不断突破，高端仪器设备持续涌现。近日消息，由苏州博众仪器科技有限公司（简称博众仪器）自主研发的200kV透射电子显微镜BZ-F200已经进入了小批试产阶段，这标志着国产首台200kV透射电子显微镜取得重大突破。透射电子显微镜是半导体、生命科学、材料科学等领域不可或缺的高端科学仪器。国内市场对透射电子显微镜需求巨大，且对本土化的生产和供应有着强烈需求。

博众仪器自成立以来，专注于透射电子显微镜产品的研发，攻克了电子光学系统设计、超精密加工与装配、合轴联调、纳米级精度测角台等一系列核心技术，于2022年7月完成了工程样机的研制，达到了预期目标，并在半导体、生命科学、材料科学等领域得到了应用验证。此后该公司又开发了第二代透射电子显微镜产品 BZ-F200，其性能指标同国外同类电镜水平相当，首台商业化产品交付在即。这期间公司实现了超高稳定度高压电源、场发射电子枪、热场（肖特基）电子源、高稳定度恒流源等核心技术与关键零部件的研发。

据了解，BZ-F200这款产品可根据用户需求选配热发射电子枪或热场发射（肖特基）电子枪，可实现EDS、STEM等多种功能。其工作电压除200kV外，还可以切换至80kV、120kV等档位。BZ-F200的镜筒采用四级聚光镜照明系统设计，可实现微米束和纳米束、平行束和会聚束模式切换。

透射电子显微镜的研制得到了社会各界的广泛关注与支持。近日，全国政协委员、中国物理学会常务理事、清华大学物理系教授段文晖院士及清华大学物理系陈曦教授一行莅临博众仪器考察国产透射电子显微镜产业化进展情况，对博众仪器所取得的重大成果给予了高度评价，对民营企业积极参与国家战略给予了充分肯定，并对加快市场化推广提出了殷切期望。

苏州博众仪器科技有限公司表示，未来将继续加大研发投入，不断提升产品性能和技术水平，同时拓展基于电子束核心技术的多种类产品，为我国在高端仪器领域的发展注入新活力。

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