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江西兆驰半导体有限公司取得一种抛光液冷却结晶装置专利

放大字体  缩小字体 91金属网    编辑部  2025-01-31

91金属网讯,据国家知识产权局显示,江西兆驰半导体有限公司取得一项名为“一种抛光液冷却结晶装置”的专利。


专利摘要:本实用新型提供一种抛光液冷却结晶装置,包括槽体及冷却机构,槽体的底部连接冷却机构,并与冷却机构围合形成结晶腔槽体的两端分别设置进液口及出液口,进液口及所述出液口均连通结晶腔,出液口设置滤芯,冷却机构朝向槽体的一面连接挡板组,挡板组包括若干个挡板,槽体的内侧壁上连接隔离板组,隔离板组包括若干个隔离板,相邻的挡板之间设置一隔离板。通过设置冷却机构,利用温度对溶解度的影响,对抛光液进行均匀且充分的冷却,使抛光液结晶在所述抛光液冷却结晶装置中析出,并使结晶与抛光液分离,可有效防止抛光液在液桶和抛光机台管道中析出结晶,有效减少划痕对蓝宝石衬底的负面影响。

该专利授权公告号 CN 222405149 U,申请日期为 2024 年 1 月。


 
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