半导体 2023-01-17
近日，有消息称，三星电子研发出了透光率高达88%的EUV光罩防尘薄膜，并且已经可以大规模生产，以应对未来需求，丰富供应链。据了解，EUV光罩防尘薄膜可以在晶圆制造过程中保护掩模免受灰尘影…
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