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国产计算光刻再传好消息

    来源:半导体行业观察    作者:编辑部  2024-01-09 10:26
摘要: 在现代芯片制造工艺中,光刻是非常重要的一个步骤,其过程采用类似照相机的原理,光刻机发出的光通过具有图形的掩模版在晶圆上进行曝光成像,从而实现将电路图转印到晶圆上。在理想情况下,晶圆上的成像图形会与掩模版上的布局设计完全一样。但是,当掩模版图形的关键尺寸小于曝...
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